拋光機(jī)設(shè)備搬運(yùn)移入移出捆包卸車-研磨機(jī)設(shè)備裝卸搬運(yùn)移入移出捆包
2022-09-30
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亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝（上海）有限公司
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拋光機(jī)設(shè)備搬運(yùn)移入移出捆包卸車-研磨機(jī)設(shè)備裝卸搬運(yùn)移入移出捆包的亞瑟報(bào)道：ASML精密設(shè)備搬運(yùn)正在準(zhǔn)備交付新一代的High-NA EUV 光刻機(jī)，這臺(tái)光刻機(jī)采用了0.55數(shù)值孔徑，比上一代的0.33數(shù)值孔徑系統(tǒng)有更大的精度提升精密設(shè)備搬運(yùn)不過耗電量，造價(jià)也在持續(xù)上漲。關(guān)鍵在于精密設(shè)備搬運(yùn)，High-NA EUV 光刻機(jī)將成為生產(chǎn)2nm甚至是1nm的重要設(shè)備。英特爾，三星都在參與競(jìng)爭(zhēng)，試圖趕超臺(tái)積電，那么臺(tái)積電能撐得住嗎？新款設(shè)備交付后，舊款EUV光刻機(jī)能自由出貨嗎？
精密設(shè)備搬運(yùn)目前臺(tái)積電實(shí)現(xiàn)了5nm，4nm等芯片的穩(wěn)定量產(chǎn)，而三星在今年6月底就成功進(jìn)入3nm量產(chǎn)狀態(tài)。臺(tái)積電也會(huì)按照計(jì)劃，在下半年進(jìn)入3nm量產(chǎn)。不過4nm，3nm不是芯片制程的終點(diǎn)，摩爾定律還沒有就此結(jié)束，在3nm以下還能實(shí)現(xiàn)更精密設(shè)備搬運(yùn)的2nm。
而ASML新一代的High-NA EUV 光刻機(jī)會(huì)成為生產(chǎn)2nm芯片的關(guān)鍵設(shè)備。自從ASML研制High-NA EUV 光刻機(jī)以來，進(jìn)度遠(yuǎn)超想象。今年7月份ASML透露收到了機(jī)械投影，光源以及晶圓載物臺(tái)等核心元器件。這意味著供應(yīng)商已經(jīng)在配合ASML的生產(chǎn)需要，積極供貨。就在9月底，ASML進(jìn)一步傳來消息，正式官宣明年向客戶交付首臺(tái)High-NA EUV 光刻機(jī)。這臺(tái)光刻機(jī)最高或可生產(chǎn)1nm芯片，當(dāng)然，最終能否造得出來，還得看芯片制造商的技術(shù)。
ASML還說過，已經(jīng)拿到了5臺(tái)High-NA EUV 光刻機(jī)的預(yù)付訂單。但ASML并沒有透露這些客戶的信息。雖然不難猜測(cè)英特爾，三星和臺(tái)積電會(huì)精密設(shè)備搬運(yùn)High-NA EUV 光刻機(jī)，可是其它半導(dǎo)體公司也會(huì)采購(gòu)High-NA EUV 光刻機(jī)用于研究用途。而且英特爾，三星和臺(tái)積電這三大巨頭一時(shí)半會(huì)還無法造出2nm芯片，所以明年獲得High-NA EUV 光刻機(jī)精密設(shè)備搬運(yùn)訂單的客戶，未必會(huì)拿來生產(chǎn)芯片。
