精密設(shè)備裝卸搬運(yùn)找亞瑟
2021-07-05
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亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝（上海）有限公司
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精密設(shè)備裝卸搬運(yùn)找亞瑟的亞瑟報(bào)道：精密設(shè)備搬運(yùn)公司前身由電子巨頭飛利浦和另一家工具制造商 Advanced Semiconductor Materials International 于 1984 年創(chuàng)建，并在之后成為一家獨(dú)立公司。ASML是迄今為止 芯片制造設(shè)備供應(yīng)商，該設(shè)備涉及一種稱為光刻的工藝。精密設(shè)備搬運(yùn)制造商使用光刻技術(shù)將芯片電路的圖案反復(fù)投影到硅片上?？梢蕴砑拥絾蝹€(gè)芯片中的微型晶體管和其他組件越多，它就變得越強(qiáng)大，可以存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)就越多。小型化的步伐被稱為摩爾定律——以芯片巨頭英特爾的創(chuàng)始人之一命名的定律。1997 年，ASML 開始研究向使用極紫外或 EUV 光的設(shè)備轉(zhuǎn)變。這種光具有超小的波長，可以創(chuàng)建比傳統(tǒng)光刻術(shù)更小的電路。該公司后來決定制造基于該技術(shù)的機(jī)器，自 1990 年代后期以來，這項(xiàng)工作已耗資 80 億美元。
精密設(shè)備搬運(yùn)為了更快研發(fā)進(jìn)度，開發(fā)過程也迅速走向ASML 現(xiàn)在使用來自德國的鏡頭和在亞哥開發(fā)的硬件組裝機(jī)器，這些硬件通過用激光噴射錫滴來產(chǎn)生光。而這些關(guān)鍵的化學(xué)來自日本。ASML 首席執(zhí)行官彼得·溫寧克 (Peter Wennink) 表示，公司早期資金短缺讓他們不得整合了精密設(shè)備搬運(yùn)的發(fā)明，創(chuàng)建了他所謂的快速創(chuàng)新的“協(xié)作知識網(wǎng)絡(luò)”我們被迫不做別人做得事情，”他說。ASML 建立在其他精密設(shè)備搬運(yùn)合作的基礎(chǔ)上。1980 年代初，美國、日本和歐洲的研究人員開始考慮光源的根本轉(zhuǎn)變。這個(gè)概念被一個(gè)財(cái)團(tuán)采納，該財(cái)團(tuán)包括英特爾和另外兩家美國芯片制造商，以及能源部實(shí)驗(yàn)室。ASML 總裁兼首席技術(shù)官 Martin van den Brink 表示，經(jīng)過一年多的談判，ASML 于 1999 年加入。該公司的其他合作伙伴包括比利時(shí)的 Imec 研究中心和另一個(gè)美國財(cái)團(tuán) Sematech。ASML 后來吸引了英特爾、三星電子和臺(tái)積電的巨額投資，以幫助其發(fā)展。由于極紫外光的特性，這種發(fā)展變得更加棘手。光刻機(jī)通常通過透鏡將光聚焦以在硅片上投射電路圖案。但是小的 EUV 波長會(huì)被玻璃吸收，因此鏡頭將無法工作。鏡子，另一種常見的直射光工具，也有同樣的問題。這意味著新的光刻技術(shù)需要帶有復(fù)雜涂層的反射鏡，這些反射鏡結(jié)合起來才能地反射小波長。因此，ASML 求助于擁有 175 年歷史的德國光學(xué)公司和長期合作伙伴蔡司集團(tuán)。它的貢獻(xiàn)包括一個(gè)兩噸重的投影系統(tǒng)來處理極紫外光，其中有六個(gè)特殊形狀的鏡子，這些鏡子在使用離子束去除缺陷的復(fù)雜機(jī)器人過程中經(jīng)過數(shù)月的打磨、拋光和涂層處理。Martin van den Brink先生說，產(chǎn)生足夠的光線來快速投影圖像也導(dǎo)致了延遲。但是，ASML 于 2013 年收購的亞哥公司 Cymer 精密設(shè)備搬運(yùn)改進(jìn)了一個(gè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)將來自高功率激光器的脈沖引導(dǎo)到每秒 50,000 次的錫液滴上——一次是將它們壓平，第二次是將它們汽化——以創(chuàng)造強(qiáng)光。新系統(tǒng)還需要重新設(shè)計(jì)的稱為光掩模的組件，它們在投影電路設(shè)計(jì)中就像模板一樣，以及沉積在硅片上的新化學(xué)物質(zhì)，當(dāng)暴露在光線下時(shí)會(huì)產(chǎn)生這些圖像。日本公司現(xiàn)在供應(yīng)大部分這些產(chǎn)品。自 2017 年 ASML 推出商用 EUV 設(shè)備以來，客戶已經(jīng)購買了大約 100 個(gè)。買家包括三星和臺(tái)積電，這是其他公司設(shè)計(jì)的的服務(wù)生產(chǎn)芯片。臺(tái)積電使用該工具制造 Apple 為其款 iPhone 設(shè)計(jì)的處理器。英特爾和 IBM 表示 EUV 對他們的計(jì)劃至關(guān)重要。這是人類制造的復(fù)雜的機(jī)器，”IBM 高級副總裁 Darío Gil 說。荷蘭對向中國出口此類機(jī)器的計(jì)劃自 2019 年一直延遲，但對 ASML 的財(cái)務(wù)影響不大，因?yàn)樗衅渌?/span>訂單積壓。但該公司約 15% 的銷售額來自在中國銷售舊系統(tǒng)。在3 月份提交給國會(huì)和拜登先生的精密設(shè)備搬運(yùn)報(bào)告中，美國人工智能安全委員會(huì)提議將出口管制也擴(kuò)大到其他一些的 ASML 機(jī)器。該組織由國會(huì)資助，旨在通過軍事應(yīng)用限制人工智能的進(jìn)步。亨特先生和其他政策專家認(rèn)為，由于中國已經(jīng)在使用這些機(jī)器，阻止額外銷售會(huì)損害 ASML，而不會(huì)帶來太多戰(zhàn)略利益。公司也一樣。我希望常識會(huì)占上風(fēng)，”Martin van den Brink先生說。
