精密儀器設(shè)備裝卸搬運(yùn)-設(shè)備移位定位搬遷的亞瑟報(bào)道：半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍芯片制造是一個(gè)龐大的系統(tǒng)性工程，僅僅掌握芯片制造技術(shù)是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的，還需要半導(dǎo)體設(shè)備，材料等產(chǎn)業(yè)鏈的支持。就拿材料來(lái)說(shuō)，光刻膠是芯片制造過(guò)程中必不可少的。芯片制程越高，需要用上的光刻膠材料也半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍越好。EUV光刻膠是半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍頂級(jí)的芯片制造化學(xué)材料，助力芯片制造商實(shí)現(xiàn)7nm，5nm等芯片的生產(chǎn)?？墒?/span>光刻膠一直被日本給壟斷，占據(jù)主導(dǎo)市場(chǎng)份額半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍過(guò)中企官宣好消息，正式入局EUV光刻膠，對(duì)其展開前期研發(fā)工作。中企都有哪些研發(fā)布局呢？若國(guó)產(chǎn)EUV光刻膠破局成功，有何意義？半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍種化學(xué)材料對(duì)芯片制造可以起到?jīng)Q定性作用。不僅能保護(hù)襯底基座，還具備抗腐蝕的性能作用。但是光刻膠也是有性能區(qū)分的根據(jù)光源波長(zhǎng)的不同，大致分為五種光刻膠品類，分別為G線、I線、KrF、ArF、EUV光刻膠。頂級(jí)的就是EUV光刻膠了，適用于極紫外光源。臺(tái)積電，三星要想生產(chǎn)出芯片，EUV光刻膠是重中之重。而臺(tái)積電，三星采購(gòu)的EUV光刻膠均出自日本。日本掌握光刻膠壟斷級(jí)市場(chǎng)，東京應(yīng)化、信越化學(xué)、JSR等日本廠商長(zhǎng)期占據(jù)中低端，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍光刻膠市場(chǎng)。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍在少數(shù)寡頭的壟斷下，各國(guó)想要獲得EUV光刻膠，只能與日本廠商做交易。不過(guò)這樣的情況可能在將來(lái)會(huì)發(fā)生改變，因?yàn)橹衅蠊傩孟ⅲ惨刖諩UV光刻膠了。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍這家中企名為上海新陽(yáng)，在5月22日的業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上，上海新陽(yáng)表示現(xiàn)在已經(jīng)開始對(duì)EUV光刻膠展開前期探索性基礎(chǔ)研發(fā)。具體的研發(fā)布局包括EUV 光刻膠的基礎(chǔ)理論、形成機(jī)理、性能觀察、制備方法等。