高精密設(shè)備裝卸搬運(yùn)移位半導(dǎo)體設(shè)備裝卸的亞瑟報(bào)道：‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍隨著EUV光刻技術(shù)變得越來(lái)越重要，ASML的優(yōu)勢(shì)也越發(fā)明顯。不過(guò)，光刻機(jī)供貨商除ASML之外，還有日本廠商尼康（Nikon）和佳能（Canon），這兩家在深紫外線（DUV，光源波長(zhǎng)比EUV長(zhǎng)）的光刻技術(shù)上能與ASML競(jìng)爭(zhēng)，但ASML作為企業(yè)龍頭，在DUV光刻領(lǐng)域，也擁有62％的市場(chǎng)份額。目前，雖然只有ASML‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍一家能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，但由于其技術(shù)過(guò)于復(fù)雜，也需要與業(yè)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商和科研機(jī)構(gòu)合作，才能生產(chǎn)出未來(lái)需要的更EUV設(shè)備。‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍與傳統(tǒng)的 EUV 光刻相比，高 NA EUV 光刻有望提供更圖案縮放解決方案。被引入聯(lián)合高 NA 實(shí)驗(yàn)室的涂布機(jī)/顯影劑將具有功能，不僅與廣泛使用的化學(xué)放大抗蝕劑和底層兼容，而且還與旋涂含金屬抗蝕劑兼容。旋涂含金屬抗蝕劑已表現(xiàn)出高分辨率和高抗蝕刻性，有望實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的圖案化。然而，含金屬的抗蝕劑還需要精密的圖案尺寸控制以及芯片背面和斜面的金屬污染控制。為了應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn)，安裝在聯(lián)合高 NA 實(shí)驗(yàn)室的涂布機(jī)/顯影劑配備了能夠處理含金屬抗蝕劑的前沿工藝模塊。結(jié)合新的工藝模塊，TEL Coater/Developer 的單個(gè)單元可以在線處理多種材料，包括化學(xué)放大抗蝕劑、含金屬抗蝕劑和底層。這將實(shí)現(xiàn)靈活的晶圓廠運(yùn)營(yíng)。今年下半年，ASML推出了‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍0.33數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)NXE：3600D，每小時(shí)曝光產(chǎn)量（throughput）預(yù)估可提升至160片，2023年再推出NXE：3800E可將每小時(shí)曝光產(chǎn)量提升到195～220片。至于0.55高數(shù)值孔徑的下一代EUV技術(shù)預(yù)計(jì)2025年后進(jìn)入量產(chǎn)，支援1.5nm及1nm邏輯制程，以及‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍的DRAM制程。‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍在今年第二季度的電話會(huì)議上，ASML 首席執(zhí)行官 Peter Wennink 表示，該公司計(jì)劃今年生產(chǎn)約40臺(tái)EUV光刻機(jī)，并將在2022 年擴(kuò)大到55臺(tái)，2023 年將產(chǎn)量增加到60臺(tái)。‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍要生產(chǎn)EUV設(shè)備，ASML需要從德國(guó)蔡司公司采購(gòu)系統(tǒng)所需的鏡頭，然而，它每年可以采購(gòu)的鏡頭數(shù)量有限，這導(dǎo)致系統(tǒng)的交貨時(shí)間很長(zhǎng)。對(duì)此，Peter Wennink表示，該公司的EUV設(shè)備交付周期也將從之前的18至24個(gè)月縮短至12至 18個(gè)月‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍ 表示，其三大 DRAM 客戶都計(jì)劃使用 EUV 進(jìn)行量產(chǎn)。到 2021 年，這些公司預(yù)計(jì)將總共花費(fèi) 12 億歐元來(lái)購(gòu)買(mǎi) EUV 系統(tǒng)。他補(bǔ)充說(shuō)，未來(lái)向這些公司的 EUV 出貨量將增加。ASML已經(jīng)開(kāi)始生產(chǎn)其N(xiāo)XE 3600D新型EUV設(shè)備，與之前的3400C相比，該系統(tǒng)的生產(chǎn)率提高了15%到20%，覆蓋率提高了30%。今年第二季度，ASML的銷(xiāo)售額為40億歐元，凈利潤(rùn)為10億歐元，比2020年第二季度分別增長(zhǎng)20%和38%。該公司的訂單與上一季度相比增長(zhǎng)了 75%，達(dá)到 83 億歐元，其中 49 億歐元用于EUV設(shè)備。韓國(guó)占ASML銷(xiāo)售額的39%，其次是中國(guó)臺(tái)灣的35%‌‍精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍公司預(yù)計(jì)2021年的銷(xiāo)售額將比 2020年增長(zhǎng)35%。