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上海半導體SMT設備搬運,江蘇MOCVD設備搬移

2022-06-03  來自: 亞瑟半導體設備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):310

上海半導體SMT設備搬運江蘇MOCVD設備搬移的亞瑟報道:精‌密‍設‌備‍搬‌運‍隨著國內新能源汽車及顯示行業(yè)的自主研發(fā)不斷蓬勃發(fā)展,良率控制及新產(chǎn)品開發(fā)的需求日趨漸長。TEM可以在原子尺度對器件進行觀察和檢測,在過程控制和新品研發(fā)中起著至關重要的作用精‌密‍設‌備‍搬‌運‍制造具有統(tǒng)一尺寸的納米結構和架構對于開發(fā)功能性半導體器件是非常理想的。隨著這些器件縮小,需要使用新型材料制造新設計和更復雜的結構,以應對相應的挑戰(zhàn)。為此,精‌密‍設‌備‍搬‌運‍使用高靈敏度和精‌密‍設‌備‍搬‌運‍的分析工具來檢測在這些更精‌密‍設‌備‍搬‌運‍結構中可能影響良率或性能的極輕微電氣問題。

透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,簡稱TEM)可以為器件關鍵尺寸管控及失效分析提供原子級別的微觀細節(jié)及精‌密‍設‌備‍搬‌運‍數(shù)據(jù)采集。新型半導體器件制造需要高準確度成像和故障分析,以產(chǎn)生改進和優(yōu)化的制造工作流程。這些復雜的分析流程通常要求所使用的TEM產(chǎn)品具備精‌密‍設‌備‍搬‌運‍率的自動化功能,極易使用的用戶界面,精‌密‍設‌備‍搬‌運‍的圖像失真率,以及其他快速的表征能力,例如高速EDS能譜采集。這些都推動TEM成為半導體器件研發(fā),良率提升,以及失效分析階段必不可少的工具之一。 


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