電鏡搬運電鏡安裝電鏡移位定位的亞瑟精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍報道：半導(dǎo)體精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍零部件是指在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達到了半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)要求的零部件，如O-Ring密封圈、EFEM (傳送模塊)、RF Gen射頻電源、ESC靜電吸盤、Si硅環(huán)等結(jié)構(gòu)件、Pump真空泵、MFC氣體流量計、精密軸承、ShowerHead氣體噴淋頭等。半導(dǎo)體設(shè)備精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍由成千上萬的零部件組成，零部件的性能、質(zhì)量和精度直接決定著設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性，也是我國在半導(dǎo)體制造能力上向精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍化躍升的關(guān)鍵基礎(chǔ)要素。國內(nèi)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)起步較晚，我國半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)總體水平偏低，精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍產(chǎn)品供給能力不足，產(chǎn)品可靠性、穩(wěn)定性和一致性較差的問題日益凸顯。在精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍宏觀政治經(jīng)濟日益復(fù)雜，美國不斷打壓遏制我國高技術(shù)產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略崛起的背景下，產(chǎn)業(yè)被“卡脖子”的現(xiàn)象較為突出，這不僅嚴(yán)重制約我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高級化精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍化發(fā)展，同時對我國數(shù)字經(jīng)濟、民生經(jīng)濟和國防安全也帶來不可低估的風(fēng)險。