上海半導(dǎo)體設(shè)備裝卸搬運(yùn)的亞瑟報(bào)道：過(guò)往，邏輯廠商在工藝上一直處于 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍地位，也是使用EUV光刻機(jī)的大戶。但是現(xiàn)在存儲(chǔ)廠商的發(fā)展也來(lái)到了使用EUV光刻機(jī)階段。 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍此前一直表示不會(huì)采用EUV光刻的美光，也扛不住來(lái)到了EUV光刻時(shí)代，近日據(jù)韓媒報(bào)道，美光計(jì)劃到 2024 在其制造工廠中實(shí)施極紫外 (EUV) 光刻，在1γ(Gamma)節(jié)點(diǎn)的有限的層數(shù)中部署 EUV，然后會(huì)將其擴(kuò)展到具有更大層采用率的1δ(Delta)節(jié)點(diǎn)。旨在通過(guò)允許制造更小的芯片特征來(lái)保持摩爾定律的存在。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍美光總裁兼首席執(zhí)行官Sanjay Mehrotra在公司21財(cái)年第三季度財(cái)報(bào)電話會(huì)議上表示：“我們一直說(shuō)我們會(huì)監(jiān)控 EUV 的進(jìn)展。我們實(shí)際上參與了 EUV 評(píng)估。我們過(guò)去使用過(guò) EUV 工具。所以我們一直說(shuō)，當(dāng)我們看到 EUV 平臺(tái)以及生態(tài)系統(tǒng)變得更加成熟時(shí)，我們將在我們的路線圖中攔截 EUV。美光已從 ASML 訂購(gòu)了多種 EUV 工具，”Mehrotra 證實(shí)。美光已將21財(cái)年的資本支出增加到略高于 95 億美元，其中就包含這些EUV的預(yù)付款。 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍2021年2月1日，SK海力士完成用于DRAM的EUV晶圓廠，它于2年前開(kāi)始建造，位于京畿道利川園區(qū)的晶圓廠名為 M16，是該公司 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍晶圓廠。SK海力士 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍為M16引進(jìn)了EUV光刻設(shè)備。SK海力士計(jì)劃使用 ‌‌半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍設(shè)備從今年下半年開(kāi)始生產(chǎn)第四代10納米DRAM產(chǎn)品，即1a-nm DRAM。