MEMS是Micro Electro Mechanical System的縮寫，簡稱微機電??設?備?搬?運?系統(tǒng)，光學顯微鏡的安裝與調試是??設?備?搬?運?按功能要求在芯片上把微電路和微機械集成于一體的系統(tǒng)。MEMS基于光刻、腐蝕等傳統(tǒng)半導體技術，融入超精密機械加工，并結合力學、化學、光學等學科知識和技術基礎，使得一個毫米或微米級的MEMS具備??設?備?搬?運?而完整的機械、化學、光學等特性結構。MEMS產品主要可以分為MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器，其中傳感器是用于探測和檢測物理、化學、生物等現象和信號的器件，而執(zhí)行器是用于實現機械運動、力和扭矩等行為的器件。MEMS傳感器是采用微電子和微機械技工技術工藝制造出來的微型傳感器，種類繁多，是使用廣泛的MEMS產品，通過微傳感元件和傳輸單元把輸入的信號轉換并導出另一種可監(jiān)測信號。與傳統(tǒng)工藝制造的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。