聚焦離子《顯微鏡》搬運(yùn)裝卸-
2021-02-01 來自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):315
聚焦離子《顯微鏡》搬運(yùn)裝卸-光刻機(jī)供應(yīng)商除ASML之外,Arthur聚焦離子《顯微鏡》搬運(yùn)裝卸-還有日本廠商尼康和佳能。隨著EUV變得越來越重要,ASML的優(yōu)勢正變得越來越明顯。佳能和尼康僅能在“深紫外線”(DUV)光刻系統(tǒng)上與之競爭??杉词乖贒UV領(lǐng)域,ASML精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?也擁有62%的市場份額。
然而,極紫外光刻產(chǎn)業(yè)又并不僅僅只有EUV光刻機(jī)。
目前,
中國已經(jīng)可以量產(chǎn)G線、I線、KrF三大類光刻膠。
南大光電計(jì)劃通過3年的建設(shè)、投產(chǎn)及實(shí)現(xiàn)銷售,達(dá)到年產(chǎn)25噸193nm(ArF干式和浸沒式)光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)規(guī)模,未來將攻關(guān)EUV光刻膠。
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