掃描電鏡搬運(yùn)

掃描電鏡的搬運(yùn)是個(gè)令人頭痛的問(wèn)題，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍特別是當(dāng)它從一個(gè)實(shí)驗(yàn)室搬到另一個(gè)實(shí)驗(yàn)室時(shí)，往往要花很長(zhǎng)的時(shí)間，因?yàn)樗枰苿?dòng)很大的距離，并且需要將所有東西都從一個(gè)房間移動(dòng)到另一個(gè)房間。

雖然有些掃描電鏡是通過(guò)液壓驅(qū)動(dòng)的，但是這些掃描電鏡有一個(gè)共同的問(wèn)題，就是它們需要很大的空間來(lái)移動(dòng)。事實(shí)上，大多數(shù)掃描電鏡都不會(huì)使用液壓驅(qū)動(dòng)，所以當(dāng)你打開(kāi)它們時(shí)，它們可能會(huì)非常緩慢地移動(dòng)。

現(xiàn)在有很多掃描電鏡可以提供半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍移動(dòng)性能，比如我們公司生產(chǎn)的LMS-80型掃描電鏡就有液壓驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，如果你不希望掃描電鏡在運(yùn)輸過(guò)程中有太大的移動(dòng)性，那么就可以選擇這款掃描電鏡。

移入

使用掃描電鏡搬運(yùn)前，需先將樣品放置到指定的位置上，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍并保證樣品與掃描電鏡之間的距離在10 cm以上，然后進(jìn)行掃描電鏡搬運(yùn)。

將掃描電鏡從工作臺(tái)上卸下后，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍需要進(jìn)行一系列的檢查和調(diào)試，確保各項(xiàng)參數(shù)都正常。

如果在運(yùn)輸過(guò)程中有損壞或故障，需要立即停止使用，并將樣品送回維修中心進(jìn)行檢測(cè)。

如果需要使用到的是一些特殊的樣品，例如：生物材料、高強(qiáng)度纖維、聚合物或一些特殊的金屬材料等，這些樣品的表面對(duì)電子束是不導(dǎo)電的，因此需要對(duì)掃描電鏡進(jìn)行專門(mén)的設(shè)計(jì)和改造，使其符合這些特殊樣品的特性。

移出

從被觀察物體的表面取下樣品，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍同時(shí)對(duì)被觀察物體進(jìn)行觀察和測(cè)量。對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備掃描電鏡來(lái)說(shuō)，這個(gè)過(guò)程稱為移出。

與移動(dòng)相比，移出更容易理解一些，它是將被觀察物體從一個(gè)表面移動(dòng)到另一個(gè)表面，也就是說(shuō)，被觀察物體從一種狀態(tài)移動(dòng)到另一種狀態(tài)。

（1）樣品從樣品臺(tái)上取下并從一個(gè)表面移到另一個(gè)表面；

（2）樣品在兩個(gè)表面上移動(dòng)。

這是因?yàn)?，要將被觀察的物體從一個(gè)表面移動(dòng)到另一個(gè)表面，需要兩個(gè)步驟：

重定位

現(xiàn)在我們來(lái)說(shuō)一下重定位。

當(dāng)一個(gè)掃描電鏡在工作時(shí)，它的電子束通過(guò)兩個(gè)探頭進(jìn)行掃描，其中一個(gè)探頭被安裝在樣品室內(nèi)，而另一個(gè)探頭被安裝在樣品室與 XYZ三個(gè)方向的空間中。由于兩個(gè)探頭都是由一塊電子透鏡進(jìn)行聚焦，因此在聚焦過(guò)程中產(chǎn)生了半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍的形變。當(dāng)這些形變達(dá)到半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍的大小時(shí)，就會(huì)影響到圖像的清晰度，嚴(yán)重的甚至?xí)霈F(xiàn)圖像模糊。

為了避免這種情況的發(fā)生，我們可以通過(guò)對(duì)每個(gè)探頭進(jìn)行重新定位來(lái)減少形變?cè)斐傻挠绊憽．?dāng)一個(gè)探頭被安裝在樣品室內(nèi)時(shí)，我們可以通過(guò)如下步驟進(jìn)行重定位：

使用一個(gè)工具對(duì)探頭進(jìn)行標(biāo)定

將兩個(gè)探頭從樣品室內(nèi)移動(dòng)到另一個(gè)樣品室內(nèi)

搬運(yùn)注意事項(xiàng)

如果樣品需要搬運(yùn)，則需使用特殊的工具。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍特別是對(duì)于具有不同角度的樣品，建議在搬運(yùn)過(guò)程中使用托盤(pán)、箱子或袋子。對(duì)于尺寸較大的樣品，請(qǐng)使用一個(gè)較大的托盤(pán)來(lái)進(jìn)行搬運(yùn)。

在運(yùn)輸過(guò)程中，請(qǐng)使用繩子和綁帶將儀器固定在托盤(pán)上。確保儀器與托盤(pán)之間沒(méi)有空隙，并用繩子將儀器與托盤(pán)綁緊。

在搬運(yùn)過(guò)程中，請(qǐng)使用一個(gè)較大的盒子來(lái)存放樣品。

在運(yùn)輸過(guò)程中，請(qǐng)不要用手直接觸碰探頭表面或任何其他半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍部分（包括探頭與樣品之間的區(qū)域）。避免將探頭靠近高溫物體（如鐵和鋁）或帶有腐蝕性液體的物體（如氨水）。