上海無(wú)塵室設(shè)備裝卸搬運(yùn)-精密儀器設(shè)備搬運(yùn)安裝移入氣墊車(chē)運(yùn)輸?shù)膩喩獔?bào)道：半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍如果是對(duì)光刻機(jī)有研究的人就知道，頂級(jí)的EUV光刻機(jī)可以用于生產(chǎn)5nm等半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍芯片，一臺(tái)價(jià)值上億美元臺(tái)積電位于美國(guó)的5nm工廠就會(huì)用上EUV光刻機(jī)，除此之外，也離不開(kāi)中企刻蝕機(jī)。這一次，輪到美國(guó)依賴(lài)中企了。那么什么是刻蝕機(jī)呢？中企的刻蝕機(jī)對(duì)美國(guó)建廠有多重要？幾千億美元的產(chǎn)業(yè)價(jià)值，甚至更多。就拿臺(tái)積電在美國(guó)建設(shè)5nm芯片工廠來(lái)說(shuō)，需要用上各半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍半導(dǎo)體設(shè)備。這些設(shè)備的背后如果算上研發(fā)費(fèi)用，生產(chǎn)制造的產(chǎn)業(yè)鏈，形成的產(chǎn)業(yè)規(guī)?？峙伦阋枣敲篮芏?/span>半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍一年的GDP。臺(tái)積電在美國(guó)投資120億美元建廠，其中建設(shè)基礎(chǔ)設(shè)施多只要十幾億美元，更多的錢(qián)其實(shí)花在了購(gòu)買(mǎi)各種半導(dǎo)體設(shè)備，比如光刻機(jī)。荷蘭ASML公司是半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍光刻機(jī)霸主，壟斷中半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍刻機(jī)100%的市場(chǎng)份額，只要產(chǎn)出EUV光刻機(jī)，立馬就被半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍一空，不存在堆積庫(kù)存的情況。在過(guò)去二十年里，ASML投入了近千億元人民幣，參與EUV光刻機(jī)的研發(fā)，再加上從半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍各國(guó)采購(gòu)頂級(jí)EUV光刻機(jī)零部件，ASML在EUV光刻機(jī)身上花的錢(qián)不計(jì)其數(shù)。一臺(tái)EUV光刻機(jī)的售價(jià)十分昂貴，但它的研發(fā)更加困難。因?yàn)檎莆樟薊UV光刻機(jī)的量產(chǎn)能力，所以ASML站在了半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍半導(dǎo)體制造業(yè)的金字塔頂端。只不過(guò)美國(guó)不允許ASML隨意出貨EUV光刻機(jī)給大陸客戶(hù)，但其實(shí)大陸也有重要性不輸給光刻機(jī)的半導(dǎo)體設(shè)備，且工藝制程達(dá)到了5nm，它就是刻蝕機(jī)。荷蘭有光刻機(jī)，而中國(guó)有刻蝕機(jī)，二者的地位可以說(shuō)是并列的。中國(guó)研發(fā)刻蝕機(jī)的廠商主要有中微半導(dǎo)體和北方華創(chuàng)，而中微半導(dǎo)體的刻蝕機(jī)已經(jīng)能用于5nm生產(chǎn)線(xiàn)。根據(jù)媒體消息，中微5nm刻蝕機(jī)會(huì)在下半年發(fā)往臺(tái)積電美國(guó)工廠。能進(jìn)入臺(tái)積電5nm生產(chǎn)線(xiàn)說(shuō)明中微的刻蝕機(jī)不簡(jiǎn)單，那么什么是刻蝕機(jī)呢？掌握5nm刻蝕機(jī)制造技術(shù)的中微半導(dǎo)體，又是什么來(lái)頭？在芯片制造的過(guò)程中，光刻和刻蝕的兩大步驟都需要這兩種設(shè)備來(lái)完成。光刻機(jī)用類(lèi)似照相機(jī)的原理，將設(shè)計(jì)好的芯片線(xiàn)路圖投影在晶圓表面的光刻膠中。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍光刻膠發(fā)揮保護(hù)基底的作用，并且能夠?qū)⑿酒木€(xiàn)路圖進(jìn)行顯影，這時(shí)候刻蝕機(jī)需要沿著光刻好的芯片線(xiàn)路，將這些線(xiàn)路圖像刻在晶圓當(dāng)中。