半導(dǎo)體設(shè)備裝卸搬運(yùn)移位的亞瑟報道：半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍8月11日，晶瑞電材發(fā)布公告稱，向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券已經(jīng)創(chuàng)業(yè)板上市委審議通過，并已經(jīng)中國證監(jiān)會同意注冊。此次擬募金不超過5.23億元，集成電路制造用光刻膠研發(fā)項目為募投項目之一。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍該項目旨在通過自主研發(fā)，打通ArF光刻膠用樹脂的工藝合成路線，完成ArF光刻膠用樹脂的中試示范線建設(shè)，滿足自身ArF光刻膠的性能要求。實現(xiàn)批量生產(chǎn)ArF Immersion光刻膠的成套技術(shù)體系并完成產(chǎn)品定型，技術(shù)指標(biāo)和工藝性能滿足90～28nm集成電路技術(shù)和生產(chǎn)工藝要求。

半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍為保障該項目關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)和設(shè)備如期到位，晶瑞電材通過Singtest Technology PTE. LTD.進(jìn)口ASML光刻機(jī)設(shè)備、購置ArF光刻機(jī)配套設(shè)備、建設(shè)研發(fā)大樓。此外，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍晶瑞電材8月1日宣布，曾在半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍光刻膠企業(yè)任職近10年的陳韋帆加入公司光刻膠事業(yè)部擔(dān)任總經(jīng)理職務(wù)。彤程新材方面，其通過進(jìn)一步收購股權(quán)實現(xiàn)對光刻膠廠商北京科華的控股，目前直接持有北京科華56.56%股權(quán)，并與Meng Technology Inc.合計持有北京科華70.53%股權(quán)，今年3月開始已經(jīng)對北京科華實現(xiàn)并表。8月16日，彤程新材公告披露稱，將通過公司全資子公司上海彤程電子材料有限公司在上?；瘜W(xué)工業(yè)區(qū)內(nèi)投資建設(shè)“半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍ArF光刻膠研發(fā)平臺建設(shè)項目”。項目總投資為6.99億元，主要研究ArF濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)開發(fā)，通過建立標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)及控制流程，提升光刻膠的質(zhì)量控制水平，實現(xiàn)193nm濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn)；同時，逐步建立半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運(yùn)‍集成電路及配套材料開發(fā)與應(yīng)用評價平臺。