精密儀器設備裝卸搬運移入的亞瑟報道： ‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍產(chǎn)業(yè)資訊，顯示設備廠商Abaco開始就LG顯示和蘋果用面板生產(chǎn)線所需的設備進行協(xié)商。如果最終客戶蘋果同意，且LG顯示決定投資的話，接著就將接到設備訂單。據(jù)7月5日 ‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍業(yè)界消息，Avaco近日開始就LG顯示和可用于生產(chǎn)蘋果iPhone有機發(fā)光二極管(OLED)面板的氧化物半導體Sputter的規(guī)格進行協(xié)商。Sputter所執(zhí)行的Sputtering工藝是一種真空沉積法。可以使被電離的氬氣高速轟擊靶材，溢離的靶材就會掉落，在玻璃基板上形成薄膜。靶材在面板上薄薄涂層，確保透明度、導電性。 ‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍Avaco正在與LG顯示協(xié)商規(guī)格的氧化物半導體Sputter是低溫多晶氧化物(LTPO)薄膜晶體管(TFT)方式面板所需的設備。到目前為止，iPhone OLED面板一直采用低溫多晶硅(LTPS)TFT。將氧化物半導體工藝添加到現(xiàn)有的LTPS工藝中，即可制成LTPO TFT。LTPO是支持120Hz屏幕刷新率的合適的規(guī)格。iPhone將把LTPO應用于今年下半年推出的新產(chǎn)品的 ‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍機型(Pro系列)。該iPhone OLED面板由三星顯示獨供。LG顯示計劃投資LTPO TFT，目標是在明年應用于iPhone新機型上。去年8月 ‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍表示，公司開發(fā)了“裝置在顯示氧化物半導體制造用Sputter上，監(jiān)測等離子狀態(tài)后，與控制軟件連接進行過程控制的系統(tǒng)”。將之命名為“MTO In line等離子監(jiān)測和氣體控制系統(tǒng)”。另外，Avaco還開發(fā)出了氧化物檢測設備“氧化物半導體IGZO Sputter斷層膜電氣特性檢測設備(OSTECA-LIPD)。雖然從公司層面已經(jīng)完成了開發(fā)，但要實際交付，還需要進一步按照蘋果要求改進規(guī)格的過程。如果蘋果批準了Avaco的設備，并且LG顯示決定轉換投資LTPO TFT的話，那么公司將有望向已經(jīng)投入量產(chǎn)的LG顯示位于京畿道坡州的E6-1和E6-2線，以及明年預計量產(chǎn)稼動的E6-3產(chǎn)線供應設備。Avaco還為LG顯示慶尚北道龜尾E5產(chǎn)線提供了用于Apple Watch的LTPO TFT Sputter。據(jù) ‌‌半‍導‌體‍設‌備‍搬‌運‍了解，Avaco預計今年公司總訂單規(guī)模將達到3000億韓元以上。該數(shù)據(jù)包括蘋果iPhone用LTPO TFT Sputter、作為新業(yè)務的疊層陶瓷電容器(MLCC)外觀檢查機的預計訂單金額。去年底訂單余額為1300億韓元。在LTPO TFT領域，Abaco競爭對手是日本的Ulvac。LG顯示將把部分G6(1500x1850mm)玻璃基板投入基準月產(chǎn)能各為15K張的坡州E6-1和E6-2產(chǎn)線從LTPS轉換為LTPO。LTPO在LTPS工藝中增加了氧化物TFT工藝，會造成生產(chǎn)良率下降，導致整個OLED面板產(chǎn)能減少。LG顯示預計將在下半年的投資評審中決定是否投資LTPO。在采用LTPO的產(chǎn)線上，可以以LTPS方式生產(chǎn)面板，反之則不行。