半導(dǎo)體設(shè)備搬運-高精密設(shè)備搬移-無塵室設(shè)備搬移報道近日，有業(yè)內(nèi)人士透露， 在“2021中國實體經(jīng)濟論壇”上面，中國機床工具協(xié)會原高級顧問邵欽作的發(fā)言中提到光刻機的問題。邵欽作說：現(xiàn)在國產(chǎn)光刻機面臨的難題，有很大一部分是光刻機核心零部件加工水平的問題。他說中電科的領(lǐng)導(dǎo)找到他，告訴他現(xiàn)在中電科已經(jīng)設(shè)計好了35nm光刻機。里面幾個關(guān)鍵部件需要精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍精密加工，問他國產(chǎn)機床能不能勝任。他說選擇給中電科挑選國產(chǎn)機床，可以達到他們的精度要求。邵欽作還說咱們?nèi)蘸笠?3nm的光刻機，國產(chǎn)機床也需要繼續(xù)攻關(guān)。

同時，有網(wǎng)友表示，光刻機三大樣中，工作臺或?qū)?zhǔn)系統(tǒng)就是要高精度機床加工，而半導(dǎo)體的本質(zhì)就是精密制造，沒有高精密加工技術(shù)，就不會有半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展。據(jù)精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍了解，中國電子科技集團有限公司成立于2002年3月1日，是以原信息產(chǎn)業(yè)部直屬電子研究院所和高科技企業(yè)為基礎(chǔ)、組建而成的國有大型企業(yè)集團，也是批準(zhǔn)的國有資產(chǎn)授權(quán)投資機構(gòu)之一，由國有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員會直接監(jiān)管。中國電科主要從事重要軍民用大型電子信息系統(tǒng)的工程建設(shè)，重大裝備、通信與電子設(shè)備、軟件和關(guān)鍵元器件的研制生產(chǎn)。實際上，中電科布局光刻機已久，今年1月5日，中國電科（北京）集成電路核心裝備自主化及產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目（一期）開工奠基儀式在京舉行，精‌密‍設(shè)‌備‍搬‌運‍光刻機項目已開工。除了光刻機以外，近日，刻蝕設(shè)備也傳來好消息。據(jù)報道，