安裝搬運(yùn)《電鏡精密設(shè)備》
2021-01-21 來自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):273
近年來興起的電子顯微鏡安裝搬運(yùn)《電鏡精密設(shè)備》原位(In Situ)技術(shù)引起了國內(nèi)外學(xué)者的廣泛關(guān)注.
其一方面繼承了常規(guī)電子顯微鏡精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?所具有的高空間,高時(shí)間分辨率的優(yōu)點(diǎn),另一方面又在電子顯微鏡內(nèi)部引入了電,磁,力,熱等不同外部激勵(lì)
.從而可以在微觀尺度下實(shí)時(shí)原位觀察,研究材料和器件的結(jié)構(gòu)及物理性能變化,發(fā)現(xiàn)并提出新的理論,不斷豐富和提高著人們的認(rèn)知.
從目前國內(nèi)外電鏡原位研究的發(fā)展趨勢(shì)來看,從單一物理量原位研究設(shè)備到多物理量原位研究設(shè)備的過渡是發(fā)展必然,原因是材料和器件的實(shí)際使用是位于復(fù)雜環(huán)境中的,研究環(huán)境盡量符合實(shí)際情況一直是科研工作者所追求的理想實(shí)驗(yàn)條件.
掃描電鏡(SEM)精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?,透射電鏡(TEM精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?)為實(shí)驗(yàn)平臺(tái),設(shè)計(jì)發(fā)明了一系列可實(shí)現(xiàn)不同物理功能的掃描電鏡,透射電鏡原位樣品臺(tái).對(duì)不同材質(zhì)和形貌的納米材料進(jìn)行原位多物理場耦合加載,得到了傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)無法獲得的對(duì)材料結(jié)構(gòu)與性能之間相互作用關(guān)系的嶄新認(rèn)識(shí).
主要研究內(nèi)容總結(jié)如下:
一,研制了可以在1平方厘米平面范圍內(nèi),實(shí)現(xiàn)溫度20℃~500℃連續(xù)可控變化的掃描電鏡原位變溫功能樣品臺(tái).
結(jié)合實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的蘭州大學(xué)納米操縱器,搭建了可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)掃描電鏡下納米材料熱,力
電三場原位性能的測量平臺(tái).結(jié)合電化學(xué)模板沉積法制備了熔點(diǎn)約為180℃的一維SnPb納米焊料,并對(duì)其進(jìn)行實(shí)時(shí)原位熔化觀察,同步檢測儀器性能.精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?
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