精密設(shè)備搬運(yùn)-帕克原子力顯微鏡
2021-01-11 來自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):264
精密設(shè)備搬運(yùn)-帕克原子力顯微鏡
納米科學(xué)研究的精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?途徑精密設(shè)備搬運(yùn)-帕克原子力顯微鏡
Park NX10為您帶來最高納米級分辨率的數(shù)據(jù),值得您信賴、使用和擁有。無論是從樣品設(shè)定還是到全掃描成像、測量與分析,Park NX10都可以在保證您專注于創(chuàng)新研究工作的同時(shí)提供高精度的數(shù)據(jù)。Park SmartScan 智能模式
在SmartScan Auto獨(dú)有的智能模式下,系統(tǒng)自動執(zhí)行所有必要的成像操作,同時(shí)智能選擇的圖像質(zhì)量和掃描速度。這是通過Park的專利技術(shù)才得以實(shí)現(xiàn)的。它不僅可以為用戶節(jié)省時(shí)間和成本,還可以為用戶帶來研究成果。精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?
Park消除串?dāng)_技術(shù)
Park NX10可以為用戶帶來最高納米級分辨率的數(shù)據(jù),它是一個(gè)實(shí)現(xiàn)真正非接觸模式的原子力顯微鏡,在延長探針使用壽命的同時(shí),還可以良好地保護(hù)樣品不受損壞,延長樣品的使用壽命??蓮澢莫?dú)立的XY和Z掃描儀可帶來超強(qiáng)度和分辨率。
Park的原子力顯微鏡模式
Park原子力顯微鏡具有綜合的掃描模式,可幫助用戶準(zhǔn)確有效地收集各種數(shù)據(jù)類型。
1. 掃描范圍為50 μm x 50 μm 的2D掃描器XY軸掃描器有對稱的壓電疊堆。它可為進(jìn)行的納米級樣品掃描,提供基本的面外正交運(yùn)動和高響應(yīng)能力。Park NX10的這種緊密剛硬的構(gòu)造具備低噪聲高速的伺服響應(yīng)能力。精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?
2. 高速Z軸掃描器,掃描范圍達(dá)15 μm
借助壓電疊堆和撓性設(shè)計(jì),標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率高達(dá)9kHz(一般為10.5kHz)且探針的Z軸速率不低于48mm/秒。 Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15 μm擴(kuò)展至30 μm(可另選Z掃描頭)。
3. 低噪聲XYZ位置傳感器
精?密?設(shè)?備?搬?運(yùn)?的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。
4. 驅(qū)動XY軸樣品臺
XY軸樣品臺是驅(qū)動化的,以便于將樣品導(dǎo)航并定位到掃描區(qū)域。這種驅(qū)動臺在這兩個(gè)軸上的分辨率同為0.6um(使用微步)
5. 自動步進(jìn)掃描
借助驅(qū)動樣品臺,步進(jìn)掃描可編程多區(qū)域成像,以下是它的工作流程:
1. 掃描成像
2. 抬起懸臂
3. 移動驅(qū)動平臺到設(shè)定位置
4. 進(jìn)針
5. 重復(fù)掃描 該自動化功能可大大減少掃描過程中手動需求,從而很大程度上提高生產(chǎn)力。
操作方便的樣品臺6. Park NX10的頭部設(shè)計(jì)可使用戶從側(cè)面操作樣品和探針,用戶在樣品臺上可放置的樣品體積為50mm× 50mm×20mm(長×寬×高)。
7. 高級掃描探針顯微鏡模式和選項(xiàng)的擴(kuò)展槽
只需將可選模塊插入擴(kuò)展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設(shè)計(jì),其生產(chǎn)線設(shè)備兼容性得到大大提高。
8.結(jié)合了集成LED照明的同軸高倍顯微鏡
超長工作距離的定制物鏡(工作距離50mm, 數(shù)值孔徑0.21,分辨率1.0 μm )帶來的鏡頭清晰度。直視同軸設(shè)計(jì)使得用戶可輕易在樣品表面尋找目標(biāo)區(qū)域。EL20x的長行程物鏡的大尺寸CCD可為您在高視角前提下提供0.7 μm的高分辨率。
9.滑動嵌入SLD鏡頭的自主固定方式
您只需滑動嵌入燕尾導(dǎo)軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計(jì)可將鏡頭自動鎖定至預(yù)對準(zhǔn)的位置,同時(shí)與復(fù)位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關(guān)性低的SLD,顯微鏡可成像并可準(zhǔn)確測定力-距離曲線。
10. 垂直調(diào)節(jié)驅(qū)動的Z平臺和聚焦平臺
驅(qū)動Z平臺和驅(qū)動聚焦平臺可使懸臂檢測樣品表面并為用戶持續(xù)提供清晰的圖像。用戶通過軟件界面進(jìn)行操控,由高精度步進(jìn)電機(jī)帶動,即使是透明樣品或液池應(yīng)用中都可簡單操作。
運(yùn)營項(xiàng)目
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