高精密電鏡維修-搬運(yùn)可以找亞瑟
2021-01-10 來自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):272
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問:JEOL6390,現(xiàn)在電鏡使用時電子束電流總是很高,有96-110uA,處于橙色區(qū)域,燈絲使用壽命非常短,甚至換燈絲后半天就斷,是什么原因?
答:燈絲壽命主要和飽和點和燈絲電流的調(diào)整有關(guān),飽和點要調(diào)整到第二飽和點的欠飽和位置,欠飽和的越多燈絲壽命越長,但圖像質(zhì)量越差。燈絲電流調(diào)整要通過調(diào)整偏壓實現(xiàn),20kV時應(yīng)在70左右,從你的數(shù)值看電流偏大了,需要打開調(diào)整窗口中“bias”選項,將其中的“corse“值調(diào)大,就應(yīng)該可以了。另外,安裝燈絲的柵極帽一訂要用拋光膏拋干凈,并用超聲波清洗干凈。還有真空度也會影響燈絲壽命,因此在”Ready“出現(xiàn)后,再等幾分鐘,讓真空再好一些,也對燈絲有好處。
問:今天測樣時候遇到這樣一個問題,感覺電鏡反應(yīng)特別的慢,之前都是很快的,剛開始是我調(diào)倍率停下來之后它才慢慢反映到那個倍數(shù),在觀察窗口移動樣品的時候,又特別的靈敏,稍微一動馬上跑到別的地方了,難以控制,接下來出現(xiàn)的問題是儀器就停留在了1400倍,點擊VIEW之后也沒有回到最低倍率,任何按鍵都是無效,關(guān)燈絲也沒有反應(yīng),最后強(qiáng)行關(guān)掉了,不知道這是什么原因造成的?還請您幫忙給解釋一下。之前從來沒出現(xiàn)過這種情況
答:這恐怕是計算機(jī)與電鏡之間通訊不良,如果重啟主機(jī)以后就回復(fù)正常,那沒什么問題。偶爾發(fā)生的話問題不大。實?驗?室?搬?遷?
問:儀器JSM-6700F,偶爾在觀察時會突然掉高壓,不過很少次數(shù)。以前和同行們也討論過,因為我是在觀察當(dāng)中掉高壓,馬上就又加高壓的話,又可以觀察了,所以大家認(rèn)為應(yīng)該是環(huán)境要求沒有達(dá)到,包括冷卻水、溫濕度等,我當(dāng)時認(rèn)為可能是濕度,但濕度計顯示不到50%,儀器對環(huán)境要求應(yīng)該是60%以下吧?
另外,儀器上半年經(jīng)常報警說與電腦連接失敗,重啟電腦就可以正常了,最近一個月沒有這情況。這電腦和儀器鏈接不好嗎?那鏈接不好應(yīng)該不會時好時壞是什么原因呢?
答:掉高壓在6700F來講的話,主要有兩個原因,首先樣品室真空度不好的話,即樣品在觀察過程中如果突然outgas的話,真空度就有可能變差,甚至低于高壓打開的閥值,這時就會造成高壓自動關(guān)閉,因此請在看圖像的過程中,打開penning gauge的窗口,注意一下樣品室真空度是否會變差。另一個原因是由于penning gauge 本身使用時間過長的話,里面會有很多金屬粉末,從而影響其放電,真空度顯示就不準(zhǔn)確了,會跳動,造成高壓關(guān)閉也就不奇怪了,解決的辦法就是清洗penning gauge 。當(dāng)然有些地方接觸不良也會造成高壓關(guān)閉,這個只能就事分析,沒有共性了。
通訊問題,不知道你們的機(jī)器是否連有HUB,如果有的話,會造成這種現(xiàn)象。如果沒有的話,請查一下網(wǎng)線連接,還不行的話,可以換一塊網(wǎng)卡試一下。 實?驗?室?搬?遷?
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